AVK 1000.5Y.LLS ポンプおよびロードロックシステム搭載 自動真空質量比較器（マスコンパレータ）

操作効率をさらに高めるために、AVK-1000.5Y.LLS比較器には革新的なLOAD LOCK質量標準搬送システムが搭載されています。このシステムにより、メインチャンバー内の雰囲気を変更せずに分銅の交換が可能となり、分銅の交換にかかる時間を最大90％短縮します。 LOAD LOCKは独自の大容量ポンピングシステムを備えており、接続バルブを開くのに必要な真空レベルに到達するまでの排気時間が大幅に短縮されます。分銅の交換／追加後、接続バルブを閉じたあとのメインチャンバーの安定化に必要な時間は約4時間です。このソリューションは、時間の節約と生産性の向上を実現するとともに、再度の排気に伴うダウンタイムを最小限に抑えます。

前段ポンプは、ガスを機械的に吸引・圧縮する原理で動作します。主な役割は、ターボ分子ポンプが効果的に動作できる圧力レベルまで下げることです。これらのポンプは、10⁻³ ～ 10⁻⁴ hPaの真空を生成する能力を持っています。

測定プロセス中において、作業の効率化と無人運転を実現可能にする分銅の自動交換装置です。

この装置は、精密測定環境を包括的に管理し、測定の精度向上および繰り返し性の改善に寄与します。