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LOAD LOCK – complément de fonctionnement du comparateur AVK-1000

Le comparateur à vide AVK-1000 peut être équipé du système de transfert de l’étalon LOAD LOCK. LOAD LOCK rend possible l’échange ou l’ajout des artefacts sans nécessité de changer l'atmosphère à l'intérieur de la chambre principale du comparateur. L’utilisation de la chambre de transfert des étalons réduit 90% du temps nécessaire pour leur échange dedans la chambre principale.

Lorsque l’échange des étalons sans utiliser le système LOAD LOCK, l'air entre directement dans la chambre principale du comparateur. Après chaque ouverture, il est nécessaire d’évacuer l’air jusqu’à la valeur de vide appropriée. Après chaque ouverture, il est nécessaire d’évacuer l’air jusqu’à la valeur de vide appropriée. Le comparateur à vide a besoin d’environ 48 heures pour pouvoir obtenir la valeur de vide garantissant la répétabilité des mesures.

Grâce au fait que LOAD LOCK dispose de son propre système de pompage à haute efficacité, le temps d’évacuation d'air pour atteindre le vide permettant l'ouverture de la soupape de connexion avec la chambre principale est considérablement réduit. Le temps de stabilisation de la chambre principale après le remplacement / l'ajout de l'étalon et la fermeture de la soupape de connexion avec le système LOAD LOCK prend jusqu’à 5 heures.

Les vacuomètres de haute qualité utilisés dans les deux appareils permettent de surveiller et de comparer les valeurs de vide afin de déterminer le moment où l'ouverture de la soupape et l'échange de l’étalon sont possibles. Le viseur spécialement conçu permet de surveiller tout le processus.

LOAD LOCK est conçu pour transporter des objets de dimensions telles que le comparateur AVK-1000: des étalons cylindriques ayant le diamètre de 22 à 95 mm et des sphères de silicium ayant le diamètre de 40 à 100 mm.
Le système LOAD LOCK du comparateur à vide AVK-1000 améliore considérablement l'efficacité de travail effectuée pendant la comparaison.
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